13. 반도체 소자 제조공정에서 도판트(dopant)를 주입하는 공정은?
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13. | 반도체 소자 제조공정에서 도판트(dopant)를 주입하는 공정은? |
1. | 식각(etching) |
2. | 확산(diffusion) |
3. | 세척(washing) |
4. | 산화(oxidation) |
|
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